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  ABAQUS S/W를 이용한 압입 및 스크래치에 의한 소재의 나노변형거동 해석에대해서 소개합니다.

 
MEMS/NEMS 부품의 미세화와 더불어 극미세 패턴의 필요성의 증대
나노가공시 소재의 변형거동의 예측
나노패턴 제작용 팁 설계를 위한 D/B 구축
 
ABAQUS S/W를 이용한 압입 및 스크래치에 의한 소재의 나노변형거동 해석 (2D/3D)
팁의 형상 인자들이 가공시 소재의 Piling-up 및 탄성회복 에 미치는 영향 예측
 
Von Mises stress distribution after scratch
Plastic strain distribution after scratch
 
Geometry of indenter
Boundary conditions
 
Validity of model
 
Load-penetration
curve
and indent trace
 
Piling-up
 
Si, Pyrex 7740, PMMA Tip radius
   
Tip geometry Multi-Tip