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  ABAQUS S/W를 이용한 압입 및 스크래치에 의한 소재의 나노변형거동 해석에 대해서 소개합니다.

 
나누부품의 대량생산 공정용 대면적 스탬프의 저가 제작공정의 필요성 증가
MEMS/NEMS 부품의 기계적 성질 D/B 의 필요성 증대
목적형상의 설계변경이 용이하고, 조작이 간단하며, 합금재료의 가공에 적용될 수 있는 가공공정의 개발
 
Si, Pyrex7740, PMMA의 나노 변형 거동 조사 D/B 구축
나노패턴 제작에서 스크래치 공정인자가 미치는 영향 조사 및 패턴제작에 적합한 스크래치 조건 조사
습식식각에 의한 표현형상의 제어
 
Elastic modulus
Hardness
Elastic restoration
   
 
Frictional coefficient and force
 

Vertical & horizontal cross section
 
   
Samples of line and crisscross pattern
 
Step 1. Sample Preparation(Cutting and cleaning)
 
Step 2. Nano-scratch
Step 3. Wet etching
 
Procedure layout of the process